在化学反应过程中，通过催化剂的催化作用，使有毒有害气体在较低的温度下发生氧化分解的方法，叫做催化燃烧法。催化燃烧装置主要由活性炭吸附脱附装置、加热系统、热交换器、催化燃烧室、催化反应器、电控装置、预警装置以及风机、管道、烟囱等部分组成。

催化燃烧装置的净化原理是：预处理后的废气进入活性炭吸附箱进行吸附浓缩，活性炭吸附饱和后进行脱附处理，这些脱附下来的废气浓度是原来的几十甚至几百倍，这些浓缩后的废气进入催化燃烧器内部，在200~400℃通过贵金属催化剂的催化作用发生无焰燃烧，最终氧化分解成无毒无害的气体，例如水和二氧化碳。这些反应后的气体经过热交换器，将热量回收利用后，再由烟囱排入大气。

催化燃烧装置设计安装时应考虑以下几方面问题：

1、气流和温度需均匀分布。通过催化剂表面的废气浓度和温度分布均匀，催化燃烧装置应具有良好的保温效果。炉体一般用钢结构的外壳内衬保温耐火材料，或用双层夹墙结构。

2、便于清洗和更换。催化剂反应器一般应设计成装卸方便的模屉结构，便于清洗和更换催化剂载体。

3、安全性。催化燃烧装置由于反应温度在200~400℃，所以催化燃烧装置应该具备一定的防爆、安全报警等安全保护装置。

4、较高的废气反应温度。由于催化燃烧为不可逆的放热反应，所以，无论催化燃烧反应进行到什么阶段，都应在尽可能高的温度下进行，以获得较高的转化速度。

催化燃烧装置适用于成份复杂的多组分有毒有害气体的净化，几乎适用于所有排放烃类或有臭味化合物的工业生产过程。但催化燃烧装置对于含有大量尘粒、雾滴等有毒有害气体，容易引起催化床层的堵塞，使催化活性下降，从而降低净化效率，在处理以上气体的时候需要加设预处理设备。